在半導(dǎo)體加工過程中,研磨鈰基拋光液無疑是一項(xiàng)重要的技術(shù)。主要用于半導(dǎo)體表面加工,研磨液和拋光液是影響半導(dǎo)體表面質(zhì)量的重要因素。
稀土拋光粉也可以根據(jù)不同類型的添加劑進(jìn)行分類,其生產(chǎn)技術(shù)屬于微粉工程技術(shù),稀土拋光粉屬于超細(xì)粉,通常有三種超細(xì)粉:納米(1nm~100nm);亞微米(100nmμm~μm1μm);微米級(1μm~100μm),根據(jù)這種分類方法,稀土拋光粉可分為三類:納米級:.微米級和微米級一般采用微米級,粒度分布在1μm~10μm之間。根據(jù)其物理化學(xué)性質(zhì),稀土拋光粉一般用于玻璃拋光工藝的精研磨,粒度分布一般不超過10μm。粒度大于10μM玻璃加工初期,拋光粉(含稀土拋光粉)主要用于粗磨。
稀土拋光粉的中間體是由氯化稀土溶液合成的,含有含鈰(或少釹)。
上海鈰基拋光液供應(yīng)商根據(jù)磨料成分,拋光液一般分為單磨料拋光液.混合磨料拋光液和復(fù)合磨料拋光液研磨劑在cmp拋光過程中的功能
用于制造精密稀土拋光材料的材料拋光粉的材料可分為三種:高鈰拋光粉由硝酸鈰或氯化鈰制成,硝酸鈰制成的拋光粉顆粒功能很好;
制備目的:生產(chǎn)碳酸氫銨溶液.硫酸銨溶液和稀土材料溶液。
玻璃拋光粉的主要成分是氧化磚,而油漆拋光粉的主要成分是三氧化鋁,部分油漆拋光粉的主要成分是硅藻土。氧化磚的拋光精度比氧化鋁好,對于一些鏡面拋光和拋光精度高的材料,價(jià)格遠(yuǎn)高于氧化鋁。
在廣州稀土拋光粉的生產(chǎn)過程中,以稀土溶解鹽為原料進(jìn)行煅燒沉淀。主要方法是碳酸鹽法.堿鹽法.草酸鹽法.氫氧化物.硫酸鹽復(fù)鹽等。