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研磨拋光液的用途和優(yōu)點

來源：jiqingvcd.cn | 發(fā)布時間：2023年01月02日

在半導體加工過程中，研磨鈰基拋光液無疑是一項重要的技術。主要用于半導體表面加工，研磨液和拋光液是影響半導體表面質量的重要因素。

研磨是半導體加工中的一個重要過程。研磨是利用化學研磨溶液與研磨料混合加工半導體表面，使其成為精密儀器的過程。需要指出的是，化學研磨過程幾乎包括半導體生產(chǎn)過程的每個環(huán)節(jié)，使研磨和拋光液成為影響半導體表面成功的重要因素。

事實上，常見的拋光液有很多種，不同的拋光液有不同的性質和功能。氧化鋁磨料流體具有多種特性，在選擇過程中可以選擇效果不同的氧化鋁磨料流體，研磨速度快，可以節(jié)省研磨時間，提高生產(chǎn)效率，效果好，表面光滑。金剛石研磨液是一種常見的液體，需要加油或加水稀釋，但其優(yōu)點也很突出，效果明顯，方便，沒有污染，無腐蝕。金剛石顆粒硬度好，粒度均勻，研磨效果也很好。藍寶石研磨液用于研磨和稀釋藍寶石襯底。在研磨和拋光過程中，保持高切割效率，不易劃傷工件。

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